小形直動3ポート弁です。連続通電、自己保持、省配線に対応する特別仕様品です。
（3種類の製品を１つの商品ページに掲載しています。）

【適応シリンダ径：Φ6~Φ20】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器

裏配管仕様のマニホールド電磁弁です。食品機械、水処理プラント、半導体製造装置など、省スペースの制御盤への設置に最適です。ガスケット*1との組み合わせにより、防滴性が求められる制御盤においても、エアと電気の分離設置が可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径：Φ４~Φ16】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

カセットタイプで、さらに小形化（高さ39.5mm）を実現した高性能3・4ポートブロックマニホールドです。
【適応シリンダ径：Φ20~Φ40】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

薬液用マニュアルバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

マニュアル式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

電動式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。
遠隔操作によって設定流量の変更が可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）