CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

在没有气源的地方，只需AC100V的电源就可以轻松供给洁净空气的小型压缩机。行李箱内装有所有必要的部件，所以简单携带。设计性出色，可以使用在办公室，实验室，展示会等各种活动场所。

行业

可从压缩空气中轻松分离提取防氧化、防爆所用的高纯度氮气。可以选择提高设置自由度的“水平设置”。另外，氮浓度也在90%～99.9%的广泛范围内使用。从17流量、25个系列中选择最适合的机型，通过内部氧浓度计、流量计可以随时监控氮气供给状态。

行业

• 保护气体
• 安装
• 包装
• 填充

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，最适合电子部件等的吸附确认。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业

• 保护气体
• 氮气清洗关联元件
• 理化分析设备

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

直通结构流量传感器。不会发生异物堵塞和检测不良。最适合点焊机、各种机床、高频淬火装置等。

行业

• 冷却水
• 耐环境
• 冷却液控制

【停产产品】
代替产品：FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。

行业

• 保护气体
• 检查
• 理化分析设备

荣获2018年度优秀设计奖。
是涵盖0.4～250L/min的卡曼涡街式流量传感器。可进行各种输出的切换设定，支持IO-Link通信。标配液温侧功能，最高可应对95℃的流体温度，最适合各种冷却水的监视。

行业

• 理化分析设备