以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。

行业

可用于使用PVC阀体的FPD和太阳能电池生产线等的纯水控制的中等范围阀。全系列均采用低水锤结构，可减轻大口径配管在阀闭时受到的冲击。

行业

可瞬时排放大量液体的气控阀。

行业

1.5英寸大口径(切削阀体)气控阀。

行业

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可用于强酸(盐酸、氢氟酸、硝酸)管路。

行业

• 化学液体供给设备用元件

基础型化学液体用气控阀。
备有各种基础型接头。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

化学液体用气控阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。
集成阀也备有两种可选。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可耐受高压、高背压。

行业

• 化学液体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.125inch、采用W密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件