按压锁定型小型真空减压阀。

行业

• 搬运
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 半导体制造工序（后工序）

配备真空破坏机构的真空发生器用真空破坏单元。
真空发生器的真空特性不变，同时可控制真空破坏空气。
【配管口径】Φ4, Φ6

行业

真空用压力开关采用数字显示，可视性更强。
【配管口径】M5, Φ4, Φ6, Φ8, 直接安装

行业

内置笔形空气吸笔组件、吸盘和真空发生器。最适用于小部件的组装等。

行业

备有各种形状及材质的产品种类。备有可对应各种工件及搬送环境的产品种类。
【吸盘形状】标准型、海绵、波纹管、多段波纹管、长圆、软波纹管、止动型、薄物用、平面、防吸痕型、包装袋用、金属检测型、附带机械式破坏功能。

行业

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

带破坏空气流量＆溢流压力调整针阀的真空切换单元。
集成了所有功能的标准型。
【真空阀有效截面积】3.5, 5　(㎟)

行业

小型、轻量，尤其实现了高度尺寸紧凑化的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】0.4　(㎟)

行业

• 移载

10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】
2通阀规格：3.5, 4.5　(㎟)
3通阀规格：3.0, 3.6　(㎟)

行业

最适用于进行大流量真空控制的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】 : 16.5　(㎟)

行业

• 夹具关联