实现了冷却水循环回路的流量传感器、阀一体化的集成单元。在大幅减少水路的繁琐配管设计及配管作业工时的同时，占用空间减少80%，实现了系统的省空间化。

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• 理化分析设备

去除水配管内的异物，保护设备。

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保证端子箱的防水性。

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统一了过滤减压阀、油雾器等的各元件主要尺寸的紧凑模块型设计。

除了标准品以外，还备有以下种类。
P6：禁铜型

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过滤减压阀、油雾器的组合型K系列，机种丰富的接头连接型。

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F.R.L安装用配管适配器。
直线型在维护时无需拆卸配管，可以只拆卸元件本身。
L型可以对元件的IN、OUT气口从上、下方向进行配管。

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用于配管分支用途。

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过滤器和减压阀一体化，除杂质用5μｍ和除油用0.3μｍ的滤芯系列化。

除了标准品以外，还备有以下种类。
P6：禁铜型
P11：臭氧对应品

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过滤器和减压阀一体化，耐焊渣性强的阻燃型。

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最适用于半导体生产线及小型装置领域。紧凑、省空间的内置逆流功能型。

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