化学液体用手动阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。

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• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

可调节微小流量的手动式流量调节阀。

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手动式流量调节阀(针阀)。

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• 半导体制造工序（前工序）

电动式流量调节阀(针阀)。
可通过远程操作变更设定流量

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• 半导体制造工序（前工序）

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位，以电信号的形式输出。

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• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

用于纯水等的压力控制的手动式减压阀。

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• 半导体制造工序（前工序）

可通过先导空气控制，使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合，可通过远程操作变更设定压力。

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• 半导体制造工序（前工序）

以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。

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• 半导体制造工序（前工序）

以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。

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可用于使用PVC阀体的FPD和太阳能电池生产线等的纯水控制的中等范围阀。全系列均采用低水锤结构，可减轻大口径配管在阀闭时受到的冲击。

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