クリーンルームで使用可能な禁油仕様の小形レギュレータです。
P80：禁油処理
P90：禁油処理、ステンレス材料使用
P94：禁油処理、ステンレス材料使用、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種

禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N２の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア（N2)ブローに適しています。
P90：ステンレス材料使用、禁油処理

業種

配管の手間を省き、コンパクト化も実現したオール禁油仕様のクリーンエア供給ユニットです。

業種

豊富な圧力表示レンジ(0.2MPa～2.0MPa)の汎用圧力計です。クリーン仕様も用意しています。
P70：黄銅（ニッケルめっき）、禁油・禁水、一般環境組立・クリーン包装
P90：ステンレス、禁油・禁水、クリーン組立・クリーン包…

業種

エアフィルタの寿命管理に最適です。差圧測定範囲は、0～0.2MPa±2.5%F.S.です。

業種

省配線、薄形形状のコンパクトな電空レギュレータです。
半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適です。
P70：排気処理

業種

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御により、高精度・高応答な電空レギュレータです。
P70：排気処理

業種

□30mm、1色表示のコンパクトな圧力スイッチです。ステンレスダイアフラムオプション（PPD3-S）では、ドレン等水分を含む圧縮空気の圧力計測が可能です。
P70：発塵防止
P74（受注生産品）：発塵防止、銅系不可・シリコン系不…

業種

15mm幅の小形圧力スイッチです。トリマ設定方式の小形形状と3種類の配管接続（R1/8, Φ6プラグ, Φ6ワンタッチ継手）と防塵・防水構造により使い方は自由自在です。
P70：発塵防止
P80：禁油処理

業種

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

P70：発塵防止
P80：禁油処理

業種

• 半導体製造工程（後工程）