クリーンルーム内での直接排気を実現できます。中空糸膜構造の採用により、空圧回路内で使用された排気エアを高い精度で清浄化できる画期的ろ過器・クリーン排気フィルタです。

業種

フィルタエレメントに中空糸膜を採用し、ろ過性能、流量、圧損、寿命、スペースといった全ての面で高い能力を備えたインライン形クリーンフィルタです。
P90：禁油処理、ステンレス材使用
P94：禁油処理、ステンレス材使用、銅系不可・シ…

業種

高精度圧力制御・圧力降下の小さい安定した流量特性があり、コンパクトサイズながら大きなリリーフ流量タイプです。
P70：排気処理

業種

クリーンルームで使用可能な禁油仕様の小形レギュレータです。
P80：禁油処理
P90：禁油処理、ステンレス材料使用
P94：禁油処理、ステンレス材料使用、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種

禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N２の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア（N2)ブローに適しています。
P90：ステンレス材料使用、禁油処理

業種

配管の手間を省き、コンパクト化も実現したオール禁油仕様のクリーンエア供給ユニットです。

業種

豊富な圧力表示レンジ(0.2MPa～2.0MPa)の汎用圧力計です。クリーン仕様も用意しています。
P70：黄銅（ニッケルめっき）、禁油・禁水、一般環境組立・クリーン包装
P90：ステンレス、禁油・禁水、クリーン組立・クリーン包…

業種

エアフィルタの寿命管理に最適です。差圧測定範囲は、0～0.2MPa±2.5%F.S.です。

業種

省配線、薄形形状のコンパクトな電空レギュレータです。
半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適です。
P70：排気処理

業種

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御により、高精度・高応答な電空レギュレータです。
P70：排気処理

業種