小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置

ツインロッド＆両ロッド構造で、ショックアブソーバを内蔵しているため、高推力を求められながら、衝撃や騒音の少ない搬送に最適です。

業種

• 耐環境

お客様がよくお使いのスペックを標準装備したリニアスライドシリンダのベーシックモデルです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

徹底した軽量化と設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富な高剛性リニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

高精度・高剛性を重視した幅広ガイドを搭載。設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富なリニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

薄さ、軽さ、剛さの3拍子揃ったリニアスライドシリンダです。狭いスペースでの用途に最適です。

業種

極限まで小形サイズに高い精度と剛性を兼ね備えたリニアスライドシリンダです。

業種

高荷重でしかも長寿命。高速駆動可能なロッドレスシリンダです。Φ12〜Φ100までシリーズを揃え、バリエーションも豊富です。

業種

• 特殊用途・搬送

スーパーロッドレスシリンダの内径サイズΦ12～Φ25に一軸の高精度リニアガイドを一体的に取り付けた高精度ガイドロッドレスシリンダです。小物部品の高精度搬送に最適です。

業種

スーパーロッドレスシリンダの内径サイズΦ25～Φ63に二軸の高精度リニアガイドを一体的に取り付けた高精度ガイド付ロッドレスシリンダです。部品などの高精度搬送に最適です。

業種