商品一覧

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半導体製造工程
薬ガス供給設備向け機器

デジタルカタログ

半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

パイロット式3・4・5ポート電磁弁 

パイロット式3・5ポート弁

形番
4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR

NEW

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ100】

業種
  • 組立
  • 空気圧サプライ
  • 精製水製造
  • 調整
  • 濾過
  • 製袋(輸液バックの場合)
  • 充填
  • 滅菌(オートクレーブ)
  • 包装
  • 打錠
  • 培養
  • 分取
  • 滅菌装置
  • 理化学分析装置
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

パイロット式3・4・5ポート電磁弁 

PLC対応型ブロックマニホールド

形番
MN3E・MN4E

カセットタイプで、さらに小形化(高さ39.5mm)を実現した高性能3・4ポートブロックマニホールドです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ40】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

エアオペレイト式3・4・5ポート弁 

マスタバルブ

形番
4GA/BR・M4GA/BR

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径:Φ20~100】

業種
  • 組立
  • 空気圧サプライ
  • 精製水製造
  • 調整
  • 濾過
  • 製袋(輸液バックの場合)
  • 充填
  • 滅菌(オートクレーブ)
  • 包装
  • 打錠
  • 培養
  • 分取
  • 滅菌装置
  • 理化学分析装置
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

直動式3ポート電磁弁

ブロックマニホールド

形番
MN3Q

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径:Φ4~Φ16】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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プロセスガス用機器

プロセスガス用バルブ

形番
LGD

メタルダイアフラム採用のプロセスガス用バルブの追加バリエーションです。高い信頼性と耐久性を継承しつつ、工法を最適化したエコノミーモデルです。
エアオペレイトタイプ、マニュアルタイプをご用意しております。

業種
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 薬液供給設備向け機器
  • 半導体製造工程(前工程)
  • N2パージ関連機器

プロセスガス用機器

エアオペレイトバルブ

形番
AGD

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。

業種
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 薬液供給設備向け機器
  • 半導体製造工程(前工程)
  • N2パージ関連機器

高耐久バルブ

高温・高耐久ガスバルブ

形番
AGD

微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。

業種
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 半導体製造工程(前工程)
  • N2パージ関連機器
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プロセスガス用機器

プロセスガス用マニュアルバルブ

形番
OGD

90°回転スナップアクション方式のマニュアルバルブです。

業種
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 薬液供給設備向け機器
  • 半導体製造工程(前工程)
  • N2パージ関連機器

プロセスガス用機器

プロセスガス用マニュアルバルブ

形番
MGD

マニュアル式メタルダイアフラムバルブ。270°回転方式のハンドル開閉タイプです。

業種
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 半導体製造工程(前工程)
  • N2パージ関連機器

プロセスガス用機器

バキュームジェネレータ

形番
VG

省エネタイプの真空排気装置。プロセスガス排気用バキュームジェネレータです。
ノズル径:Φ0.5

業種
  • 薬ガス供給設備向け機器
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