商品一覧

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半導体製造工程
薬ガス供給設備向け機器

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半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

集積化ガス供給システム

集積化ガス供給システム

形番
IAGD5

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.125inch、Wシール対応。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬ガス供給設備向け機器
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CKD plus 会員限定

集積化ガス供給システム

集積化ガス供給システム

形番
IAGD4

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、Wシール対応。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬ガス供給設備向け機器
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CKD plus 会員限定

集積化ガス供給システム

集積化ガス供給システム

形番
IAGD3

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、CSシール対応。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬ガス供給設備向け機器
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集積化ガス供給システム

クリーンパネル

形番
FICS

お客様のご要望・フローに応じて設計、製造、検査までCKDがユニット保証します。

業種
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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