商品一覧
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- 半導体製造工程
- 薬ガス供給設備向け機器
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
パイロット式3・4・5ポート電磁弁
パイロット式3・5ポート弁
- 形番
- 4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR
NEW
パイロット式3・4・5ポート電磁弁
PLC対応型ブロックマニホールド
- 形番
- MN3E・MN4E
エアオペレイト式3・4・5ポート弁
マスタバルブ
- 形番
- 4GA/BR・M4GA/BR
直動式3ポート電磁弁
ブロックマニホールド
- 形番
- MN3Q
プロセスガス用機器
プロセスガス用バルブ
- 形番
- LGD
プロセスガス用機器
エアオペレイトバルブ
- 形番
- AGD
高耐久バルブ
高温・高耐久ガスバルブ
- 形番
- AGD
プロセスガス用機器
プロセスガス用マニュアルバルブ
- 形番
- OGD
プロセスガス用機器
プロセスガス用マニュアルバルブ
- 形番
- MGD
プロセスガス用機器
バキュームジェネレータ
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