商品一覧
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- 半導体製造工程
- 半導体製造工程(前工程)
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
液面センサ
ファインレベルスイッチ
- 形番
- KML
NEW
プロセスガス用レギュレータ
プロセスガス用レギュレータ
- 形番
- PGM
NEW
パイロット式3・4・5ポート電磁弁
PLC対応型ブロックマニホールド
- 形番
- MN3E・MN4E
レギュレータ
パイロット式レギュレータ
- 形番
- PMP
NEW
直動式3ポート電磁弁
直動式3ポート弁
- 形番
- 3QR・3QB・3QE・3QZ
直動式3ポート電磁弁
ブロックマニホールド
- 形番
- MN3Q
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A
一部バリエーション販売終了
マニュアルバルブ
薬液用マニュアルバルブ
- 形番
- MMD※※2・GMMD※※2
サックバックバルブ
エアオペレイトバルブ・サックバルブ一体形
- 形番
- AMDS
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- 半導体製造工程
- 半導体製造工程(前工程)
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