商品一覧

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半導体製造工程
半導体製造工程(前工程)

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半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

直動式3ポート電磁弁

直動式3ポート弁

形番
3QR・3QB・3QE・3QZ

小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。(エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど)
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径:Φ…

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 酸素濃縮器
  • 透析監視装置
  • 歯科医療装置
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パイロット式3・4・5ポート電磁弁 

PLC対応型ブロックマニホールド

形番
MN3E・MN4E

カセットタイプで、さらに小形化(高さ39.5mm)を実現した高性能3・4ポートブロックマニホールドです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ40】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

直動式3ポート電磁弁

ブロックマニホールド

形番
MN3Q

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径:Φ4~Φ16】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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エアオペレイトバルブ

薬液用エアオペレイトバルブ

形番
AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

NEW

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
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エアオペレイトバルブ

薬液用エアオペレイトバルブ

形番
AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A

一部バリエーション販売終了

薬液用エアオペレイトバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズです。
マニホールドも2種類から選択可能です。
高圧仕様もラインアップしております。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
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