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プロセスガス用機器
リークバルブ（真空破壊バルブ）
- 形番
- FGL
2008/9/30販売終了
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カタログPDF
CKD plus 会員限定
プロセスガス用機器
二次電池対応機器P4※シリーズ エアオペレイトバルブ
- 形番
- AGD-X
2020/3/31販売終了
二次電池製造工程用 P4※シリーズ
【販売終了品】
代替商品：お問い合わせください。
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様なバリエーションに対応をしております。
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- 業種
高真空用機器
高真空用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AVP
2023/6/30販売終了
高真空用機器
高真空用マニュアルバルブ
- 形番
- MVP
2023/6/30販売終了
高真空用機器
電動真空弁
- 形番
- EVB
2021/3/31販売終了
【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ
モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
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- 高真空・特殊ガス用機器
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