商品詳細

流量センサ・コントローラ

気体用小形流量センサラピフロー(R)

形番
FSM2

一部バリエーション販売終了

【販売終了】
代替商品:FSM3シリーズ
※分離表示器:FSM2-Dシリーズは販売終了対象外です。

2画面2色表示の気体用小形流量センサです。
表示一体型、分離表示型の2種類をラインナップしています。

業種
  • シールドガス
  • 検査
  • 理化学分析装置

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取扱説明書

2D CAD

3D CAD

技術資料

CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【大流量でもコンパクト】
流量レンジ:0.5~1000ℓ/min
500、1000ℓ/minタイプでは、従来体積比30%の小形化を実現。

【直間部不要】
整流機構内蔵により上流側・下流側ともに直間部不要のため、自由に設置可能。

【双方向計測】
表示一体型・双方向タイプは流れ方向を任意に設定し計測可能。

【高速応答】
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、応答速度50m/secを実現。

【クリーン仕様】
P70(発塵防止)、P80(禁油仕様)を標準ラインアップ。
半導体、液晶製造分野向けの用途に最適。

形番 名称 流量レンジ(L/min)接続口径(Φ, Rc) 備考
FSM2-A表示分離型0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/22022/1/31
販売終了
旧カタログ旧取扱説明書
FSM2-N表示一体型(スイッチ出力NPN2点・アナログ出力1点)0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/22022/1/31
販売終了
旧カタログ旧取扱説明書
FSM2-P表示一体型(スイッチ出力PNP2点・アナログ出力1点)0.5~10004~10, 1/8, 1/4, 1/22022/1/31
販売終了
旧カタログ
FSM2-D分離表示器

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