小形・軽量で真空破壊時間を大幅に短縮する真空切換ユニットです。
省配線を可能にするマニホールド真空切換ユニットです。
バルブ消費電力0.55W、自己保持タイプも選択可能で省エネに対応します。
【真空弁有効断面積】4.5(㎟…

業種

• 治具関連

吸着面にフッ素樹脂多孔質を採用した高精度な吸着プレートです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

複数のパット使用時に、吸着していないパッドがあっても正常に真空を保持する落下防止弁です。
【接続口径】M3, M4, M5, M6, M10, R1/8

業種

• ハンドリング
• 搬送

磁石を利用した緩衝機構（磁気バネ）を採用し、押し圧一定、ロングライフ、メンテナンスフリーを実現したバッファ機構です。

業種

エア吸い込み時に一緒に吸い込まれるダストや水分を除去し、真空ポンプやエジェクタを保護します。
【接続口径】Rc1/8~Rc1/2

業種

真空破壊機構を備えた真空エジェクタ用の真空破壊ユニットです。
真空エジェクタの真空特性はそのままに真空破壊エアを制御可能にします。
【接続口径】Φ4, Φ6

業種

真空用圧力スイッチの表示には、デジタル表示を採用し、視認性を向上させました。
【接続口径】M5, Φ4, Φ6, Φ8, 直付

業種

ペン形のエアピンセット、吸着パッドと真空エジェクタを内蔵しました。小部品の組み立てなどに最適です。

業種

性能・形状の異なるタイプが豊富に揃い、様々な条件に対応可能です。
【ノズル径】:0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】:7~180　(L/min(ANR))
FP1：流路部・摺動部…

業種

繊細なワークの吸着システムや検査システムなどの精密な圧力調整を必要とする回路に最適です。コンパクト・大流量・高精度の真空レギュレータです。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種