破壊エア流量&リリーフ圧力調整ニードル付真空切換ユニットです。
全ての機能が集約されたスタンダードタイプです。

【真空弁有効断面積】3.5, 5　(㎟)

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系…

業種

大流量の真空制御に最適な真空切換ユニットです。

【真空弁有効断面積】16.5　(㎟)

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種

破壊エア流量＆リリーフ圧力調整ニードル付の真空エジェクタユニットです。

【ノズル径(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸込み流量(L/min(ANR))】7~38

P4：流路部・摺動部に、銅・亜…

業種

性能・形状の異なるタイプが豊富に揃い、様々な条件に対応可能です。
【ノズル径】0.3,0.4,0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】1~180　(L/min(ANR))

P…

業種

任意の倣い位置でパッドを保持し、形や大きさの異なるワークも段取り替えなしで搬送を可能にする吸着ハンドです。中空ロッドとスプリングバッファにワンウェイロック機構を組み合わせた、軽量、コンパクトなユニットです。

業種

【NEW】対応モータを追加　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ファインバッファとモータを一体化し、回転アライメントとバッファ…

業種

• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装

プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）

繊細なワークの吸着システムや検査システムなどの精密な圧力調整を必要とする回路に最適です。コンパクト・大流量・高精度の真空レギュレータです。

業種

エジェクタと真空破壊機能を一体化し吸着・破壊サイクルの高速タイプです。
【ノズル径】0.5, 0.7　(㎜)
【吸込み流量】3~21　(L/min(ANR))

業種

すべての機能が集約されたスタンダードタイプです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0, 1.2　(㎜)
【吸込み流量】7~50　(L/min(ANR))

業種