小型直動弁3QRシリーズをベースにした特別仕様品です。
①高速駆動が求められる装置においてワークをエアで排出するなど高タクトでの応答性にも追従可能な、高応答タイプ（2ms)。装置の高速化をサポートします。
②DC5V～32Vで使…

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大流量圧縮空気用パルスブローバルブです。圧縮空気のブローを間欠にすることによりカーボンニュートラルに貢献します。

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電流に比例して流量制御できる比例電磁弁です。
10mm幅の超小型、静音設計。装置の省スペース化に貢献します。

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• 半導体製造工程（前工程）

倣ならい一発！平行出し。エアベアリングを応用した平行調整ユニット。平行にしたい面同士を押しあてるだけで、高精度平行調整の自動化を可能にします。コンパクト×高精度×高耐荷重を実現しました。

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任意の倣い位置でパッドを保持し、形や大きさの異なるワークも段取り替えなしで搬送を可能にする吸着ハンドです。中空ロッドとスプリングバッファにワンウェイロック機構を組み合わせた、軽量、コンパクトなユニットです。

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速度制御弁を電磁弁側に一体化させたマニホールド電磁弁です。
シリンダなどのアクチュエータに取付スペースがない場合でも、電磁弁側で速度制御が可能です。

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現場に潜む9種類の危険を1つのユニットで安全に体験可能。初めて作業をする方などへの教育用ツールです。

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高圧流体制御に最適。最高使用圧力15MPaの高圧対応の直動式・パイロット式の電磁弁です。

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【NEW】多様な流体に対応するマルチフィットバルブにおいて、新たに高温流体対応（MAX143℃）オプションを追加しました。

多種流体にマルチフィット。
流体制御バルブに求められる機能をひとつのボディに集約しました。

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3方爪チャックにLVDTセンサを内蔵させた、測長機能付き3方爪チャックです。
ワークの微小な寸法判定だけではなく、把持爪や冶具の変形などの出力変化を監視することにより装置のメンテナンス時期の予知も可能です。

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