采用混合式旋转接头，为机器人移载提供创新解决方案。通过内部通路向旋转机器人控制端供气供电，实现配管与配线的“零缠绕”。
【尺寸共4种】可搬送重量(kg)1、5、7、25

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

低滑动自动调芯装置。在机器人与夹爪夹头间安装的轻薄型快速调整器，可防止机械臂偏芯导致的装置停止。
【尺寸共5种】可搬送重量(kg)1、3、7、12、25

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
（3种产品刊载在1个产品页上。）

【适用缸径：Φ6~Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

薄型、轻量化电动执行器。
有助于促进装置的小型化、轻量化。
本体颜色为黑色，减少图像检查时的光反射。

行业

• 检查
• 移载
• 安装
• 搬运
• 半导体制造工序（后工序）

可自行更换机器人前端工具。最小可搬送1kg～最大可搬送300kg，备有11种尺寸，适用于小型到大型的不同种类机器人。
【备有11种尺寸】可搬送重量(kg)1、3、7、12、25、45、60、120、180、230、300

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

提高了滑动部位的耐磨损性和滑动性，大幅度延长了寿命，实现了稳定的响应。
【适用缸径：～Φ40】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

最适合在水滴及粉尘较多的环境下进行旋转定位的执行器。
保护等级实现了相当于IP65。
对应新型控制器，启动时间减少了60%。

行业

• 组装
• 检查
• 安装
• 牙科医疗设备
• 半导体制造工序（后工序）