采用混合式旋转接头，为机器人移载提供创新解决方案。通过内部通路向旋转机器人控制端供气供电，实现配管与配线的“零缠绕”。
【尺寸共4种】可搬送重量(kg)1、5、7、25

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

低滑动自动调芯装置。在机器人与夹爪夹头间安装的轻薄型快速调整器，可防止机械臂偏芯导致的装置停止。
【尺寸共5种】可搬送重量(kg)1、3、7、12、25

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
（3种产品刊载在1个产品页上。）

【适用缸径：Φ6~Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

省空间设计，适用于组装的小型直动式3通电磁阀。同时对应DC、AC电压，实现稳定的控制。

●适用缸径：～φ20
●公称寿命：5000万次
●对应电压：AC100V、AC110V、AC200V、AC220V
…

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备
• 牙科医疗设备

可自行更换机器人前端工具。最小可搬送1kg～最大可搬送300kg，备有11种尺寸，适用于小型到大型的不同种类机器人。
【备有11种尺寸】可搬送重量(kg)1、3、7、12、25、45、60、120、180、230、300

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

提高了滑动部位的耐磨损性和滑动性，大幅度延长了寿命，实现了稳定的响应。
【适用缸径：～Φ40】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

无需另行设置轴承和支撑件等，只需直接承载负荷，即可精度地进行定位的旋转执行器。
因为可轻松制作分度单元的装置，所以减少了设计工时和组装工时，使得生产设备更加简洁化、效率化。

高精度型：AX1R系列
高速旋转型：AX…

行业

• 组装
• 检查
• 半导体制造工序（后工序）