产品列表
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- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（后工序）
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
流量传感器・控制器
卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX
- 型号
- WFK3000
流量传感器・控制器
压缩空气用流量传感器（显示分离型 FLUEREX）
- 型号
- PFD
发生器系统
发生器单元（10.3mm宽）
- 型号
- VSN・VSNM
实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5
- 行业
- 半导体制造工序（后工序）
吸盘
精密吸盘
- 型号
- PVP
高真空用元件
真空压力控制系统
- 型号
- IAVB
高真空用元件
高真空用气控阀
- 型号
- AVB
高真空用元件
高真空用手动阀
- 型号
- MVB
高精度型
τDISC 大中空径型
- 型号
- FD-s
高精度型
τDISC 高刚性型
- 型号
- DD-s
流量传感器・控制器
洁净室用P5※・P7※系列 小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
洁净元件用 P5※ / P7※系列
【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。
P70 : 防止发尘
P80 : 禁油处理
- 行业
- 半导体制造工序（后工序）
- 搜索条件
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- 商品类别
- 所有
- 特定用途
- 所有
- 行业
- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（后工序）
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