产品列表

产品列表

43件中
21~30件
半导体制造工序
半导体制造工序(后工序)

从半导体元件制造设备至生产工艺装置,分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上,还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。

电空减压阀

PARECT 电空减压阀

型号
EVS2

【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

操作说明书

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

高真空用元件

真空压力控制系统

型号
IAVB

既保持了高真空阀原本的可靠性,还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

电子样本

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

CKD plus 仅限会员

高真空用元件

高真空用气控阀

型号
AVB

结构特殊,采用CKD独有的成型波纹管,实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

电子样本

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

高真空用元件

高真空用手动阀

型号
MVB

部分衍生系列销售中止

手柄旋转式高真空用手动阀。
备有铝阀体型和SUS阀体型。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

电子样本

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

流量传感器・控制器

气体用超小型流量传感器 RAPIFLOW®

型号
FSM

部分衍生系列销售中止

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应,最适合电子部件等的吸附确认。

行业
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

流量传感器・控制器

压缩空气用流量传感器(显示分离型 FLUEREX)

型号
PFD

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业
  • 传感器
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

流量传感器・控制器

卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX

型号
WFK3000

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业
  • 传感器
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 理化分析设备
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

操作说明书

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

空气用压力传感器

数字压力传感器

型号
PPX

是□30mm的小型双画面、3色显示压力传感器。
具备可同时确认压力的〔当前值〕和〔设定值〕的双画面显示、3色显示、设定内容复制功能、3种模式设定等使用便捷性和高功能的数字显示式压力传感器。
通过IO-Link的对应有助于设备的I…

行业
  • 半导体制造工序(后工序)

空气用压力传感器

带数字显示的电子式压力开关

型号
PPG

□31mm的紧凑型单画面双色显示压力开关。符合防护等级IP65。(配管形式:增加了内螺纹)

行业
  • 传感器
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

操作说明书

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

真空关联元件

小型真空减压阀

型号
VSRVV

部分衍生系列销售中止

按压锁定型小型真空减压阀。

行业
  • 搬运
  • 组装
  • 移载
  • 检查
  • 安装
  • 半导体制造工序(后工序)
资料⁄下载

电子样本

样本PDF

安全注意事项

3D CAD

CKD plus 仅限会员