产品列表
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- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（后工序）
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
吸盘
精密吸盘
- 型号
- PVP
发生器系统
发生器单元（10.3mm宽）
- 型号
- VSN・VSNM
实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5
- 行业
- 半导体制造工序（后工序）
特殊气缸
空气轴承
- 型号
- LBC
孵化产品【特殊规格产品】
ABSODEX 防水・防尘型 【特殊规格产品】
- 型号
- AX8R
最适合在水滴及粉尘较多的环境下进行旋转定位的执行器。
保护等级实现了相当于IP65。
对应新型控制器，启动时间减少了60%。
- 行业
- 组装
- 检查
- 安装
- 牙科医疗设备
- 半导体制造工序（后工序）
- 资料⁄下载
样本PDF
CKD plus 仅限会员
孵化产品【特殊规格产品】
电动执行器无马达规格滑块型【特殊规格产品】
- 型号
- EFS
NEW
先导式3通阀
食品制造工序用FP※系列 先导式3通阀
- 型号
- 3GA/BR-FP1
食品制造工序用FP※系列
先导式3通阀
二次电池制造工序用P4※系列 先导式3通阀
- 型号
- 3GD/ER-P4
二次电池制造工序用P4※系列
先导式3通阀
二次电池制造工序用P4※系列 先导式3通阀
- 型号
- 3GA/BR-P4
二次电池制造工序用P4※系列
流量传感器・控制器
洁净室用P5※・P7※系列 小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
洁净元件用 P5※ / P7※系列
【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。
P70 : 防止发尘
P80 : 禁油处理
- 行业
- 半导体制造工序（后工序）
高真空用元件
电动真空阀
- 型号
- EVB
2021年03月31日销售中止
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- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（后工序）
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