产品列表
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- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（后工序）
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
高真空用元件
电动真空阀
- 型号
- EVB
2021年03月31日销售中止
流量传感器・控制器
压缩空气用流量传感器（显示一体型 FLUEREX）
- 型号
- PF・PFU
2019年03月31日销售中止
- 资料⁄下载
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CKD plus 仅限会员
流量传感器・控制器
卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX
- 型号
- WFK5000・WFK6000・WFK7000
2019年12月27日销售中止
【停产产品】
是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。
代替产品：卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX WFK5000・WFK6000・WFK7000系列
- 行业
- 传感器
- 半导体制造工序（后工序）
- 理化分析设备
流量传感器・控制器
气体用流量传感器万用表组件
- 型号
- PFK
2022年03月31日销售中止
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- 所有
- 特定用途
- 所有
- 行业
- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（后工序）
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