商品一覧

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流量センサ・コントローラ

クリーン機器用P5※・P7※シリーズ 小形流量センサ ラピフロー®

形番
FSM3-P70・FSM3-P80

NEW

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

P70:発塵防止
P80:禁油処理

業種
  • 半導体製造工程(後工程)

流量センサ・コントローラ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ気体用小形流量センサ ラピフロー®

形番
FSM2

一部バリエーション販売終了

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

【販売終了品】
代替商品:FSM3シリーズ
※分離表示器:FSM2-Dシリーズは販売終了対象外です。

2画面2色表示の気体用小形流量センサです。表示一体型、分離表示型の2種類をラインナップしています。
P70…

業種
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安全上の注意

CKD plus 会員限定

流量センサ・コントローラ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ小形流量センサラピフロー専用超小形インラインフィルタ

形番
FSM-VFM

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
内容積が小さく、吸着確認時の高速応答を妨げません。
P70:発塵防止

業種
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CKD plus 会員限定

速度制御弁・絞り弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズダイヤル付スピードコントローラ

形番
DSC

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

2016年度グッドデザイン賞を受賞しました。流量の目盛管理ができ、シリンダ速度の定量化が可能になります。リニアな流量特性を有する回転ニードルを採用しています。またニードルの固定はプッシュロック方式を採用し、正面裏面からダイヤル表示の視認が可…

業種
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安全上の注意

CKD plus 会員限定

速度制御弁・絞り弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズスピードコントローラエルボタイプワンタッチ継手付

形番
SC3W

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

エルボタイプの速度制御弁でワンタッチ継手付です。配管ネジ部にはシール剤をコーティングしています。
P70:発塵防止
P74:発塵防止、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種
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安全上の注意

CKD plus 会員限定

速度制御弁・絞り弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズスピードコントローララインタイプ・ワンタッチ継手付

形番
SCL2・SCD2

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

アクチュエータの遠隔・集中制御に便利なインライン形。
SCL2シリーズは、アクチュエータの遠隔、集中制御に便利なインライン形スピードコントローラです。
SCD2シリーズは、給気と排気両方向の流量制御が可能な、メータイン・メータア…

業種
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安全上の注意

CKD plus 会員限定

速度制御弁・絞り弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズスピードコントローラポート直結・エルボタイプ

形番
SC3R

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

エルボタイプの速度制御弁でポート直結が可能です。配管ネジ部にはシール剤をコーティングしています。
P70:発塵防止
P74:発塵防止、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種
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安全上の注意

CKD plus 会員限定

速度制御弁・絞り弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズスピードコントローラ中口径タイプ

形番
SC1

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

インライン形タイプのスピードコントローラ中口径タイプです。
P70:発塵防止
P74:発塵防止、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種
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安全上の注意

CKD plus 会員限定

逆止弁、シャトル弁、急速排気弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ逆止め弁

形番
CHV2

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

圧縮空気などの流体の逆流を完全防止ができます。
豊富な口径・オプションも充実しています。
P70:発塵防止
P74:発塵防止、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可
P80:禁油処理

業種

逆止弁、シャトル弁、急速排気弁

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズワンタッチ継手付小形逆止め弁

形番
CHL

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

小形・省スペースのインラインタイプで、真空保持・低圧での使用も可能です。
P70:発塵防止
P74:発塵防止、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種