商品一覧

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レギュレータ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ精密レギュレータ

形番
RP1000・RP2000

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

高精度圧力制御・圧力降下の小さい安定した流量特性があり、コンパクトサイズながら大きなリリーフ流量タイプです。
P70:排気処理

業種
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レギュレータ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズクリーンレギュレータ

形番
2619

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

クリーンルームで使用可能な禁油仕様の小形レギュレータです。
P80:禁油処理
P90:禁油処理、ステンレス材料使用
P94:禁油処理、ステンレス材料使用、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種
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レギュレータ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズクリーンレギュレータ

形番
RC2000

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N2の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア(N2)ブローに適しています。
P90:ステンレス材料使用、禁油処理

業種

ユニット機器

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ クリーンエアユニット

形番
CAU30

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

配管の手間を省き、コンパクト化も実現したオール禁油仕様のクリーンエア供給ユニットです。

業種

圧力計・表示器

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ 圧力計

形番
G49D・G59D

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

豊富な圧力表示レンジ(0.2MPa~2.0MPa)の汎用圧力計です。クリーン仕様も用意しています。
P70:黄銅(ニッケルめっき)、禁油・禁水、一般環境組立・クリーン包装
P90:ステンレス、禁油・禁水、クリーン組立・クリーン包…

業種

圧力計・表示器

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ差圧計

形番
GA400

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

エアフィルタの寿命管理に最適です。差圧測定範囲は、0~0.2MPa±2.5%F.S.です。

業種
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取扱説明書

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電空レギュレータ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ薄形電空レギュレータ

形番
MEVT

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

省配線、薄形形状のコンパクトな電空レギュレータです。
半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適です。
P70:排気処理

業種

電空レギュレータ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズパレクト電空レギュレータ

形番
EV2100V

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御により、高精度・高応答な電空レギュレータです。
P70:排気処理

業種
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3D CAD

CKD plus 会員限定

空気用圧力センサ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズデジタル表示付電子式圧力スイッチ(パレクトプレッシャスイッチ)

形番
PPD3

一部バリエーション販売終了

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

□30mm、1色表示のコンパクトな圧力スイッチです。ステンレスダイアフラムオプション(PPD3-S)では、ドレン等水分を含む圧縮空気の圧力計測が可能です。
P70:発塵防止
P74(受注生産品):発塵防止、銅系不可・シリコン系不…

業種
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空気用圧力センサ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ電子式小形圧力スイッチ(パレクトプレッシャスイッチ)

形番
PPE

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

15mm幅の小形圧力スイッチです。トリマ設定方式の小形形状と3種類の配管接続(R1/8, Φ6プラグ, Φ6ワンタッチ継手)と防塵・防水構造により使い方は自由自在です。
P70:発塵防止
P80:禁油処理

業種
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