省配線、薄形形状のコンパクトな電空レギュレータです。
半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適です。

業種

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御を採用し、電気信号により、空気圧を連続的かつ、高精度にコントロールできる電空レギュレータです。

業種

• センサ

今まで出来なかった50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度にコントロール可能な電空レギュレータです。

業種

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 特殊用途・搬送

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御により、高精度・高応答な電空レギュレータです。

業種

【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

小形レバー式2・3ポート電磁弁です。接続は竹の子継手になっています。シール材質は選択可能です。

業種

• 生化学分析装置
• 歯科医療装置

純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。

業種