商品一覧
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- 半導体製造工程
- N2パージ関連機器
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
プロセスガス用機器
プロセスガス用マニュアルバルブ
- 形番
- OGD
プロセスガス用機器
プロセスガス用マニュアルバルブ
- 形番
- MGD
マニュアル式メタルダイアフラムバルブ。270°回転方式のハンドル開閉タイプです。
- 業種
- 薬液供給設備向け機器
- 薬ガス供給設備向け機器
- 半導体製造工程(前工程)
- N2パージ関連機器

集積化ガス供給システム
クリーンパネル
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