商品一覧
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- 半導体製造工程
- 薬液供給設備向け機器
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
マニュアルバルブ
薬液用マニュアルバルブ メタルレスタイプ)
- 形番
- MMD※0M
プロセスガス用機器
プロセスガス用バルブ
- 形番
- LGD
メタルダイアフラム採用のプロセスガス用バルブの追加バリエーションです。高い信頼性と耐久性を継承しつつ、工法を最適化したエコノミーモデルです。
エアオペレイトタイプ、マニュアルタイプをご用意しております。
- 業種
- 薬ガス供給設備向け機器
- 薬液供給設備向け機器
- 半導体製造工程（前工程）
- N2パージ関連機器
プロセスガス用機器
エアオペレイトバルブ
- 形番
- AGD
メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。
- 業種
- 薬ガス供給設備向け機器
- 薬液供給設備向け機器
- 半導体製造工程（前工程）
- N2パージ関連機器
高耐久バルブ
高温・高耐久ガスバルブ
- 形番
- AGD
微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。
- 業種
- 薬液供給設備向け機器
- 薬ガス供給設備向け機器
- 半導体製造工程（前工程）
- N2パージ関連機器
プロセスガス用機器
プロセスガス用マニュアルバルブ
- 形番
- OGD
プロセスガス用機器
プロセスガス用マニュアルバルブ
- 形番
- MGD
マニュアル式メタルダイアフラムバルブ。270°回転方式のハンドル開閉タイプです。
- 業種
- 薬液供給設備向け機器
- 薬ガス供給設備向け機器
- 半導体製造工程（前工程）
- N2パージ関連機器
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