環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径：Φ20~100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御を採用し、電気信号により、空気圧を連続的かつ、高精度にコントロールできる電空レギュレータです。

業種

• センサ

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 特殊用途・搬送

クーラント液に対応した圧力スイッチです。保護構造はIP65相当で工作機のクーラント液管理に最適です。

業種

• クーラント制御
• センサ

異物に強い流路構造のクーラント液にも最適なチェック弁です。接続口径Rc3/8、1/2、3/4をご用意しております。

業種

• クーラント制御

工作機におけるクーラント液制御に特化した異物に強い3ポートエアオペレイトバルブです。
【最高使用圧力：0.3MPa】
【接続口径：Rc3/4、1】

業種

• クーラント制御

工作機におけるクーラント液制御に特化した異物に強い3ポートエアオペレイトバルブです。接続口径はRc3/8～1まで中圧仕様（3.5MPa）と高圧仕様（7.0MPa）をラインナップしました。

業種

• クーラント制御

工作機におけるクーラント液制御に特化した異物に強いエアオペレイトバルブです。幅広い接続口径と圧力仕様（最高7.0MPa）をラインナップし、電磁弁搭載形、マニホールドタイプなど多彩なバリエーションでクーラント液制御の最適化を実現します。

業種

• クーラント制御

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）
• 理化学分析装置