商品詳細

電空レギュレータ

パレクト電空レギュレータ

形番
EVS2

30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)

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CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【小形】
30×39×57.1(幅×高さ×長さ)。
小形・軽量の為、装置の小型化に貢献。

【高精度】
電気信号により、流体圧力を高精度・高速応答でコントロール。
繰返し性:0.3%F.S.
分解能:0.1%F.S.
応答時間:0.1sec(無負荷)

【作動状態をカラー2色で表示】
2色表示作動インジケータにより、設定圧力時は緑色、設定外の場合とエラー時は赤色で表示。

【配管・配線作業が簡単】
エア配管:ワンタッチ継手、電気配線:M12継手を採用しており、配管、配線作業が簡単。

形番 名称 圧力制御範囲(MPa)接続口径(Φ) 備考
EVS2-100パレクト電空レギュレータ0.001~0.14, 6
EVS2-500パレクト電空レギュレータ0.005~0.5MPa4, 6

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