适用于多种工件FA化的卡爪更换器。可自动更换多种卡爪及工具。标配防坠落机构，并备有电极等各种选择项。

行业

• 移载
• 搬运

轴承机构的三爪卡盘。

行业

省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。

行业

采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，可通过电气信号连续且高精度地控制空气压力的电空减压阀。

行业

• 传感器

可从0kPa开始高精度地进行以往未能实现的50kPa以下比例控制的电空减压阀。

行业

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 特殊用途、搬送

是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。

行业

【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

支持多种流体的防爆型电磁阀。隔爆型结构 符合d2G2标准，可在防爆区域内使用。搭载等级180（H）耐热线圈，可用于蒸汽。
除了以往的日本认证（TIIS）外，还可以对应中国GB规格认证（NEPSI）以及中国强制产品认证制度（CCC）。

行业

支持多种流体的防爆型电磁阀。隔爆型结构 符合d2G4标准，可在防爆区域内使用。
除了以往的日本认证（TIIS）外，还可以对应中国GB规格认证（NEPSI）以及中国强制产品认证制度（CCC）。

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