C※0※0系列安装用附件。

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【NEW】追加对应马达厂商
可安装各厂商马达进行控制的电动执行器无马达规格。
内置本体与导轨一体的外轨式导轨。提高耐径向性能，强于偏移的工件，降低了并联导轨的必要性。本体可进行上表面安装，因此安装简便性优异。

行程…

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• 组装
• 检查

可安装各厂商马达控制的电动执行器无马达规格。
通过采用铁底座外导轨，追求高刚性。
可增减速度高达2G，有助于设备的进一步高速化。


行程：100~1500mm
最大可搬送重量（水平）：118.5kg

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【NEW】追加低发尘规格选项
【NEW】追加对应马达厂商
可安装各厂商马达进行控制的电动执行器无马达规格。
采用缸体与导轨一体的外导轨方式，追求紧凑、高刚性。本体外配备润滑脂加注口，可从本体上面安装，易于安装，维护性优异。…

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• 组装

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【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。

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• 保护气体
• 半导体制造工序（后工序）
• 氮气清洗关联元件

只需些许力量即可操作约300kg重物的平衡吊单元。搬送的各工件重量不同时，可自动识别并保持最佳平衡。

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水用先导突跳式电磁阀。差压0时也可动作，备有Rc1/2～50法兰规格。

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压缩空气用先导突跳式电磁阀。差压0时也可动作，备有Rc1/2～50法兰规格。

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温水用直动式电磁阀。使用耐热性线圈，可用于90℃以下的温水。

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