采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，可通过电气信号连续且高精度地控制空气压力的电空减压阀。

行业

• 传感器

即使在旋转中也能以非接触方式检测金属加工生产线的钻头、螺纹破损、缺损的空气传感器。检测喷嘴备有与刀具匹配的专用喷嘴单元。此外，还可应对空气传感器特长之一的恶劣环境下的使用。

行业

• 夹具关联

□30mm的紧凑型单色显示压力开关。不锈钢膜片选择项（PPD3-S）可进行包含冷凝水等水分的压缩空气的压力测量。

行业

• 传感器

15mm宽的小型压力开关。采用微调电容器设定方式的小型形状和3种配管连接（R1/8、φ6螺堵、φ6快插接头）及防尘、防水结构，使用方式灵活自如。

行业

• 传感器

用于工件到位确认、夹紧确认的空气传感器。通过采用连接件连接构造实现了模块化，通过铝铸件化实现了阀体强度增加。

行业

• 夹具关联

采用高精度针阀机构，可进行间隙确认等高精度检测。此外，利用各种特殊喷嘴，还可扩展到各种位置检测。

行业

• 夹具关联

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

最适用于进行大流量真空控制的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】 : 16.5　(㎟)

行业

• 夹具关联

小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空切换单元。
可省配线的集成真空切换单元。
阀功耗为0.55W，也可选择自保持型，适用于节能。
【真空阀有效截面积】4.5(㎟)

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• 夹具关联