使用多个吸盘时，即使存在未吸附的吸盘，也可正常保持真空的防坠落阀。
【配管口径】M3, M4, M5, M6, M10, R1/8

行业

• 移载
• 搬运

按压锁定型小型真空减压阀。

行业

• 搬运
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 半导体制造工序（后工序）

小型、轻量，尤其实现了高度尺寸紧凑化的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】0.4　(㎟)

行业

• 移载

适用于多种搬送的直进式拾放单元。
可利用凸轮机构，实现高速动作和高定位精度。

行业

• 组装

采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

轻量、省空间，安装简便、形状简洁的小型气缸。
即使安装检测开关，也几乎不会伸出，因此不占空间。

行业

• 组装

最适合在水滴及粉尘较多的环境下进行旋转定位的执行器。
保护等级实现了相当于IP65。
对应新型控制器，启动时间减少了60%。

行业

• 组装
• 检查
• 安装
• 牙科医疗设备
• 半导体制造工序（后工序）

薄型、轻量化电动执行器。
有助于促进装置的小型化、轻量化。
本体颜色为黑色，减少图像检查时的光反射。

行业

• 检查
• 移载
• 安装
• 搬运
• 半导体制造工序（后工序）

【New】直接配管、电压AC100V对应（仅限日本），新增氮气对应

是追求碳中和·高可靠性·易于使用的插装阀。耐久次数1.2亿次。即使长期使用也能实现空气泄漏极少。最大限度地减少设备不运行时的空气泄漏，有助于减少二氧化碳的排放…

行业

• 夹紧
• 搬运
• 夹具关联
• 耐环境
• 组装

宽幅平行卡爪，总高度低，可对应各种工件的夹持。采用双活塞结构，实现紧凑且高夹持力。作为HP系列，追求高刚性和长寿命的进化型卡爪。
【缸径】
φ10x 2，φ16x 2，φ20x 2，φ25x 2，φ32x 2，φ40x 2

行业

• 组装
• 移载
• 检查