专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

无代码带来了AI（学习功能）。任何人都可以使用AI如此简单。
学习功能包括分类和分类，这意味着完成学习后，只需一个模块即可与Facilea协作。

行业

• 压入・冲压
• 检查
• 半自动设备
• 组装
• 定位

【NEW】新增I/O单元
【NEW】PROFINET规格追加
可连接各种类型执行器，对应广泛用途。
最多可连接16轴的电动执行器用多轴控制器。
连接后，进一步发挥执行器的性能，大幅提高可搬送、速度性能。
通过多…

行业

• 组装
• 检查

内置控制器的电动执行器。通过内置控制器，实现控制柜的小型化。动作模式备有电磁阀模式单电控型、简易3点模式、4点模式的3种模式，最多可实现4点定位。
执行器部位是使用与气动元件相同的本体，实现了以往电动执行器所不具备的高刚性。使用挡块用…

行业

• 搬运
• 检查
• 组装

内置控制器的电动执行器。
通过内置控制器，实现控制柜的小型化。
动作模式备有电磁阀模式单电控型、简易3点模式、4点模式的3种模式，最多可实现4点定位。
通过内置高输出控制器，可搬送重量、最快速度、加减速度均得到提高，有助于…

行业

• 组装
• 检查
• 搬运

【NEW】对应尺寸12(本体宽度：120㎜)

可安装各厂商马达进行控制的电动执行器无马达规格。
采用缸体与导轨一体的外导轨方式，追求紧凑、高刚性。本体外配备润滑脂加注口，可从本体上面安装，易于安装，维护性优异。
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行业

• 组装
• 检查

【NEW】对应尺寸12(本体宽度：120㎜)

采用外轨，外形紧凑、刚性高。有助于设备省空间化。

FP1：流路部、滑动部的润滑使用食品级润滑脂（NSF H1）。

行业

• 组装

【New】追加OPC UAI从站
【New】追加数字输入／输出压入端子台32点
【New】追加Web API从站（仅限日本、欧盟、美国销售）

数字输入输出、模拟输入输出、对应IO-Link主站的防水型远程I/O。最…

行业

• 夹紧
• 搬运
• 夹具关联
• 耐环境
• 组装
• 检查

【New】追加带进气截止阀隔板、带φ10接头的阀模块

是追求碳中和·高可靠性·易于使用的插装阀。耐久次数1.2亿次。即使长期使用也能实现空气泄漏极少。最大限度地减少设备不运行时的空气泄漏，有助于减少二氧化碳的排放。阀宽10mm…

行业

• 夹紧
• 搬运
• 夹具关联
• 耐环境
• 组装

薄型、轻量化电动执行器。
有助于促进装置的小型化、轻量化。
本体颜色为黑色，减少图像检查时的光反射。

从资料/下载“2DCAD”下载3DCAD数据。

行业

• 检查
• 移载
• 安装
• 搬运
• 半导体制造工序（后工序）