轻量、省空间，安装简便、形状简洁的小型气缸。
即使安装检测开关，也几乎不会伸出，因此不占空间。

行业

• 组装

标配客户常用的规格的线性滑台气缸的基本型。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

彻底轻量化，设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的高刚性带线性导轨气缸。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

装载了注重高精度、高刚性的宽幅导轨。设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的带线性导轨气缸。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

采用线性滑台，导轨和卡爪座的一体结构实现了高刚性。
此外，安装方向有轴（上）、横向、纵向3种可选，设计更为自由。
【动作行程】4, 6, 10, 14mm

行业

• 移载

追求装置高速化与高耐久性并存的卡爪。

【动作行程】
LHA：4, 5, 9, 11, 15, 20mm
LHAG：5, 9, 11, 15, 20mm

行业

• 移载

最薄、高刚性。实现强大的夹持力。
【动作行程】12, 16, 20, 30mm

行业

• 移载

适用于多种工件FA化的卡爪更换器。可自动更换多种卡爪及工具。标配防坠落机构，并备有电极等各种选择项。

行业

• 移载
• 搬运

真正的轻量紧凑、移载用卡盘。
【动作行程】5, 6, 7, 9, 20, 25, 30, 38mm

行业

• 移载