彻底轻量化，设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的高刚性带线性导轨气缸。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

装载了注重高精度、高刚性的宽幅导轨。设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的带线性导轨气缸。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

采用线性滑台，导轨和卡爪座的一体结构实现了高刚性。
此外，安装方向有轴（上）、横向、纵向3种可选，设计更为自由。
【动作行程】4, 6, 10, 14mm

行业

• 移载

追求装置高速化与高耐久性并存的卡爪。

【动作行程】
LHA：4, 5, 9, 11, 15, 20mm
LHAG：5, 9, 11, 15, 20mm

行业

• 移载

最薄、高刚性。实现强大的夹持力。
【动作行程】12, 16, 20, 30mm

行业

• 移载

适用于多种工件FA化的卡爪更换器。可自动更换多种卡爪及工具。标配防坠落机构，并备有电极等各种选择项。

行业

• 移载
• 搬运

真正的轻量紧凑、移载用卡盘。
【动作行程】5, 6, 7, 9, 20, 25, 30, 38mm

行业

• 移载

【停产产品】
代替产品：4GA4R・4GB4R系列

具备环保性、安全性、可靠性、易用性的高性能5通阀的大流量型产品。
【适用缸径：Φ100～140】

行业

• 组装
• 气源供给装置
• 精制水生产
• 调整
• 过滤
• 制袋（输液袋）
• 填充
• 杀菌（高压灭菌器）
• 包装
• 压片
• 培养
• 分装
• 灭菌装置
• 理化分析设备

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀的气控阀。
【适用缸径：Φ20～100】

行业

• 组装
• 气源供给装置
• 精制水生产
• 调整
• 过滤
• 制袋（输液袋）
• 填充
• 杀菌（高压灭菌器）
• 包装
• 压片
• 培养
• 分装
• 灭菌装置
• 理化分析设备
• 半导体制造工序（后工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件