专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

【NEW】扩大了对应通信。

是优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀的标准型产品。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 气源供给装置
• 精制水生产
• 调整
• 过滤
• 制袋（输液袋）
• 填充
• 杀菌（高压灭菌器）
• 包装
• 压片
• 培养
• 分装
• 灭菌装置
• 理化分析设备

【NEW】追加对应马达

将精密缓冲器和马达一体化，进行旋转定位和缓冲动作。

行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装

是在各种环境、工序中能放心使用的电动执行器。备有粉尘环境用、低发尘环境用、二次电池制造工序用、食品制造工序用的产品种类。此外，也可定制执行器以满足各种需求。采用外轨，实现了紧凑且高刚性的机型。通过减小执行器的尺寸，有助于节省装置空间。与多轴…

行业

• 组装
• 检查

在现有的控制器ECR系列中，以得到好评的功能为基础，进一步实现了小型化。操作感保持不变，安装空间为以往的38%，节省了空间。扩充了网络，还对应了需求多的EtherNet/IP。扩充了利用1个控制器对应多个机种、规格，并以新感觉功能操作的执行…

行业

• 组装
• 检查
• 安全

继承了气动元件高刚性的带导杆型电动执行器。
通过使用与气动元件相同的本体，实现了前所未有的高刚性。
控制器可与高性能ECG系列和多轴控制器ECMG系列连接。
多种接口，扩大选择的范围。

行业

• 组装
• 移载
• 检查

继承了气动元件高刚性的带导杆型电动执行器。
通过使用与气动元件相同的本体，实现了前所未有的高刚性。
控制器可与高性能ECG系列和多轴控制器ECMG系列连接。
多种接口，扩大选择的范围。

行业

• 组装
• 移载
• 检查

继承了气动元件的高刚性的挡块型电动执行器。
通过使用与气动元件相同的本体，实现了前所未有的高刚性。
控制器可与高性能ECG系列和多轴控制器ECMG系列连接。
多种接口，扩大选择的范围。

行业

• 组装
• 移载
• 检查

继承了气动元件高刚性的带导杆型电动执行器。
通过使用与气动元件相同的本体，实现了前所未有的高刚性。
控制器可与高性能ECG系列和多轴控制器ECMG系列连接。
多种接口，扩大选择的范围。

行业

• 组装
• 移载
• 检查

使用气动元件本体的活塞杆电动执行器。
控制器可与高性能ECG系列和多轴控制器ECMG系列连接。
多种接口，扩大选择的范围。

行业

• 组装
• 移载
• 检查