環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

リニアスライドを採用したハンド、ガイドレールとマスタジョウを一体化で高剛性を実現しました。
また、軸（上）、横、縦の3種類から取付方向を選択可能となり、設計時の自由度が高くなります。
【動作ストローク】4・6・10・14ｍｍ

業種

シール力のあるポペット構造を採用した大流量3方弁です。φ400までのシリンダ駆動に適した内部パイロット方式のNP※Rシリーズ。正圧および負圧（真空）の共用可能な外部パイロット方式のNAP・NVP※Rシリーズ。用途にあわせて2タイプを用意しま…

業種

高精度ガイド付のスーパーコンパクトシリンダ（SSD）の小口径シリーズです。内径サイズはΦ6 ～Φ16。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。
P40：全部品に、銅・亜鉛・ニッ…

業種

カーボンニュートラル・高い信頼性・使いやすいを追求したプラグインバルブです。耐久回数1.2億回。長期使用でもエアもれ極少を実現。装置非稼働時でエアもれを最小限に留め、CO2排出量の削減に貢献します。バルブ幅10mm幅、16mm幅の2種類をラ…

業種

• クランプ
• 搬送
• 治具関連
• 耐環境
• 組立

小形・軽量・省スペースのインラインタイプのフィルタです。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種

大流量の真空制御に最適な真空切換ユニットです。

【真空弁有効断面積】16.5　(㎟)

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種

大流量の制御に最適な真空エジェクタユニットです。

【ノズル径】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】24~180　(L/min(ANR))

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・…

業種

破壊エア流量&リリーフ圧力調整ニードル付真空切換ユニットです。
全ての機能が集約されたスタンダードタイプです。

【真空弁有効断面積】3.5, 5　(㎟)

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系…

業種

破壊エア流量＆リリーフ圧力調整ニードル付の真空エジェクタユニットです。

【ノズル径(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸込み流量(L/min(ANR))】7~38

P4：流路部・摺動部に、銅・亜…

業種