環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁。高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】
FP1：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を使用。

業種

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁。高機能タイプ。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】
P70：排気処理

業種