商品一覧

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半導体製造工程
薬液供給設備向け機器

デジタルカタログ

半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

パイロット式3・4・5ポート電磁弁 

パイロット式3・5ポート弁

形番
4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ100】

業種
  • 組立
  • 空気圧サプライ
  • 精製水製造
  • 調整
  • 濾過
  • 製袋(輸液バックの場合)
  • 充填
  • 滅菌(オートクレーブ)
  • 包装
  • 打錠
  • 培養
  • 分取
  • 滅菌装置
  • 理化学分析装置
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

パイロット式3・4・5ポート電磁弁 

PLC対応型ブロックマニホールド

形番
MN3E・MN4E

カセットタイプで、さらに小形化(高さ39.5mm)を実現した高性能3・4ポートブロックマニホールドです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ40】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

エアオペレイト式3・4・5ポート弁 

マスタバルブ

形番
4GA/BR・M4GA/BR

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径:Φ20~100】

業種
  • 組立
  • 空気圧サプライ
  • 精製水製造
  • 調整
  • 濾過
  • 製袋(輸液バックの場合)
  • 充填
  • 滅菌(オートクレーブ)
  • 包装
  • 打錠
  • 培養
  • 分取
  • 滅菌装置
  • 理化学分析装置
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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直動式3ポート電磁弁

ブロックマニホールド

形番
MN3Q

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径:Φ4~Φ16】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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エアオペレイトバルブ

薬液用エアオペレイトバルブ

形番
AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

NEW

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
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