エジェクタと真空破壊機能を一体化し吸着・破壊サイクルの高速タイプです。
【ノズル径】0.5, 0.7　(㎜)
【吸込み流量】3~21　(L/min(ANR))

業種

性能・形状の異なるタイプが豊富に揃い、様々な条件に対応可能です。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】7~180　(L/min(ANR))

業種

すべての機能が集約されたスタンダードタイプです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0, 1.2　(㎜)
【吸込み流量】7~50　(L/min(ANR))

業種

豊富なユニットをモジュール化、使用目的に合った様々な選定が可能なエジェクタユニットです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0, 1.2　(㎜)
【吸込み流量】7~50　(L/min(ANR))

業種

破壊エア流量＆リリーフ圧力調整ニードル付の真空エジェクタユニットです。
【ノズル径(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸込み流量(L/min(ANR))】7~38

業種

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸込み流量】2~9.5　(L/min(ANR))

業種

• 半導体製造工程（後工程）

10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクトな真空エジェクタユニットです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸込み流量】3~26　(L/min(ANR))

業種

大流量の制御に最適な真空エジェクタユニットです。
【ノズル径】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】24~180　(L/min(ANR))

業種

小型・軽量で真空破壊時間を大幅に短縮した真空エジェクタユニットです。
省配線マニホールドタイプです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸込み流量】7~24　(L/min(ANR))

業種

性能・形状の異なるタイプが豊富に揃い、様々な条件に対応可能です。
【ノズル径】:0.5, 0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】:7~180　(L/min(ANR))
FP1：流路部・摺動部…

業種