1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

2018年度グッドデザイン賞を受賞しました。
0.4～250L/minをカバーするカルマン渦式流量センサです。各種出力の切替設定が可能でIO-Link通信にも対応しています。液温測定機能を標準装備し、流体温度95℃まで対応しており、各…

業種

• 理化学分析装置

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種

• シールドガス
• N2パージ関連機器
• 理化学分析装置

□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。（配管接続：めねじ追加しました）

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

ワイドレンジのギャップスイッチがデジタル表示でさらに使いやすくなりました。
業界初！高精度2点出力で操作も簡単です。

業種

• 治具関連

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の（現在値）と（設定値）を同時に確認できる２画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…

業種

• 半導体製造工程（後工程）

スルー構造の流量センサです。異物のつまりや検出不良がおきません。スポット溶接機・各種工作機・高周波焼入れ装置などに最適です。

業種

• 冷却水
• 耐環境
• クーラント制御

クーラント液に対応した圧力スイッチです。保護構造はIP65相当で工作機のクーラント液管理に最適です。

業種

• クーラント制御
• センサ

冷却水の循環回路の流量センサ、バルブを一体化した集積ユニットです。水まわりの面倒な配管設計や配管作業の工数を大幅に軽減するとともにフットプリントを80%削減してシステムの省スペース化を実現します。

業種

• 理化学分析装置