電流に比例して流量制御できる比例電磁弁です。
10mm幅の超小型、静音設計。装置の省スペース化に貢献します。

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• 半導体製造工程（前工程）

小型直動弁3QRシリーズをベースにした特別仕様品です。
①高速駆動が求められる装置においてワークをエアで排出するなど高タクトでの応答性にも追従可能な、高応答タイプ（2ms)。装置の高速化をサポートします。
②DC5V～32Vで使…

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