【NEW：対応モータを追加】　　　　　　　　　　　
バッテリレスアブソリュートセンサを搭載したモータを追加。
センサドグなしで原点位置の把握が可能。

【ソフトタッチ・低発塵・長寿命】
磁気バネ緩衝機構を採用。ストロークによらず押し圧が一定。また金属接触がなく低発塵かつ長寿命を実現。

【回転振れ精度0.01㎜以下】
ボールシャフト内蔵で回転振れ精度0.01㎜以下を実現。

【かんたん配管】
ボディ前面より真空配管でき、取り扱いが容易。

【省スペース】
幅・ピッチ20㎜。小形でマニホールドが可能。

【脱調を防止】
ベアリングとガイド溝の回り止め機構を採用。
高精度軸振れを抑制し、高復帰位置精度を実現。