商品詳細

流量センサ・コントローラ

小形流量センサ ラピフロー(R)

形番
FSM3

NEW

1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
  • N2パージ関連機器

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取扱説明書

ソフトウェア

技術資料

CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【樹脂ボディタイプ】
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応。
ワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから継手を選択可能。
2ポート弁を直接接続可能で、更なる省スペース化に貢献。
ニードル一体型タイプで、更なる省スペース化に貢献。

【ステンレスボディタイプ】
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応。
酸素専用のモデルもご用意(禁油仕様)。
JXR継手タイプ、二重くい込み継手タイプの2つの継手とねじ込みタイプから選択可能。
ニードル一体型タイプで、更なる省スペース化に貢献。

【高精度・高応答】
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減。
流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能。
応答時間:50msec

【IO-Linkで工場全体をオートメーション化】
IO-Link対応で、パラメータやイベントデータの伝送ができ、予知保全が可能。
漏れ検査やエア消費量の管理に最適。

【キット貸出開始(日本国内限定)】
購入前に流量レンジの確認可能。
お気軽にお申し込みください。

形番 名称 備考
FSM3-L液晶表示タイプ
FSM3-Bバー表示
FSM3-CIO-Link

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