商品詳細
電空レギュレータ
パレクト電空レギュレータ
- 形番
- EVS2
【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。
- 業種
- 半導体製造工程(後工程)
【性能向上、バリエーション追加】
①分解能アップ 0.1%F.S.以下 → 0.05%F.S.以下
②圧力バリエーション -100kPa(負圧)、200kPa(中圧)、900kPa(高圧)を追加
【小形】
30×39×57.1(幅×高さ×長さ)。
小形・軽量の為、装置の小型化に貢献。
【高精度】
電気信号により、流体圧力を高精度・高速応答でコントロール。
繰返し性:0.3%F.S.
分解能:0.1%F.S.
応答時間:0.1sec(無負荷)
【作動状態をカラー2色で表示】
2色表示作動インジケータにより、設定圧力時は緑色、設定外の場合とエラー時は赤色で表示。
【配管・配線作業が簡単】
エア配管:ワンタッチ継手、電気配線:M12継手を採用しており、配管、配線作業が簡単。
形番 | 名称 | 圧力制御範囲(MPa) | 接続口径(Φ) | 備考 |
---|---|---|---|---|
EVS2-100 | パレクト電空レギュレータ | 0.001~0.1 | 4, 6 | |
EVS2-500 | パレクト電空レギュレータ | 0.005~0.5MPa | 4, 6 | |
EVS2-10V | パレクト電空レギュレータ | -0.0053~-0.0912 | 4,6 | |
EVS2-200 | パレクト電空レギュレータ | 0.002~0.2 | 4,6 | |
EVS2-900 | パレクト電空レギュレータ | 0.009~0.9 | 4,6 |
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