遅延真空電磁弁

一部バリエーション販売終了

真空チャンバの大気開放制御用の通電時閉形電磁弁です。OFFディレイ機能により停電時に真空チャンバーをオイルあがりの汚染から守ります。

業種

形番生成・価格

CKD plus 会員限定

【設定簡単】
最大8秒（AC電圧）、10秒（DC電圧）のOFFディレイ設定が可能。

【高真空対応】
真空漏れ量1.0×10＾-9Pa・㎥/s以下。

形番	名称	備考
HVL12	遅延真空電磁弁
HVL42	遅延真空電磁弁	2020/9/30 販売終了旧取扱説明書

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