商品詳細

エアオペレイトバルブ

薬液用エアオペレイトバルブ

形番
AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

NEW

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器

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CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【使用圧力の範囲を拡大】
新シール構造により、使用圧力範囲を拡大。
A・Bポートの使用圧力を共通化。

【酸・アルカリ問わず対応可能】
耐薬品性に優れたフッ素樹脂「PVDF」をアクチュエータに採用することで、酸・アルカリ問わず、標準で幅広く対応可能。

【流体温度を拡大】
標準品の使用流体温度範囲を大幅に拡大(Max. 120℃)。
弁の開閉を信号で確認できるセンサ付をオプション化。

【3種類の取付方法】
従来のフランジ取付・底面取付に加えて、4点フランジ取付を追加。

形番 名称 接続サイズ(チューブ外形)オリフィス径接続方式 備考
AMD※※3R2ポート弁1/8”, 1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 3mm,6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm2~20mmスーパー300, F-LOCK60
AMG※※3R3ポート弁1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm3.5~20mmスーパー300, F-LOCK60
GAMD※※3Rマニホールド1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” 6mm, 8mm, 10mm, 12mm, 25mm3.5~20mmスーパー300, F-LOCK60

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