商品詳細

高真空用機器

高真空用エアオペレイトバルブ

形番
AVB

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 半導体製造工程(後工程)

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CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【長寿命・高耐久】(パート7シリーズ)
独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。
成形べローズの形状最適化により高い耐久性。
アルミボディ採用で軽量化。
実力値300万回の圧倒的な耐久性(当社規定条件にて)。

【設置・配管の自由度アップ】(パート7シリーズ)
4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。
4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。

【長寿命・低発塵】(パート3シリーズ)
バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。
長寿命成形べローズ。
SUSボディタイプ。

形番 名称 接続方式作動方式ボディ 備考
AVB※17成形ベローズ方式NW16、25、40、50、63、80NC形アルミボディ
AVB※47成形ベローズ方式NW25、40、50、63二段形アルミボディ
AVB※37成形ベローズ方式NW16、25、40、50、63、80、100複動形アルミボディ
AVB※13成形ベローズ方式NW25,40,50,80NC形ステンレスボディ
AVB※23成形ベローズ方式NW25,40,50,80NO形ステンレスボディ
AVB※33成形ベローズ方式NW25,40,50,80複動形ステンレスボディ

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