【対象除去物質】
シロキサンもしくはオゾンのどちらかを1機種で除去。

【使用流体】
加圧状態のまま圧縮空気、窒素ガスで使用可能。

【除去率】
オリジナル活性炭フィルタで99％以上の高い除去性能を実現。

【2種類のサイズ展開】
使用箇所により標準と大流量の2種類から選択可能。

【省スペース】
当社調質機器とのモジュール接続で省スペース化。