真空でも活躍!流体制御バルブ

大気圧より低い圧力の空間を真空といいます。CKDはより大気圧に近い低真空から、高真空まで対応できるようバリエーション豊富に取り揃えております。

低真空を利用している光景は、テレビなどでも製品の搬送などでも利用される真空吸着など比較的よく見かけます。

高真空は、化学プラントや半導体工場などにある真空チャンバーで利用されます。薬品、化学材料の製造では、液体内の気体を除去したり、電子顕微鏡などの分析装置では、分析精度を上げるためチャンバー内の大気分子を除去したり、半導体製造工程の各種装置でも利用されます。その他、洗浄、乾燥、封止など様々な装置、工程で利用される高真空バルブを紹介いたします。

高真空用エアオペレイトバルブAVBシリーズは、独自のベローズを採用したわみを防止することで、高耐久を実現したバルブです。また、アクチュエータ先端部を軽量化し、弁の開閉時の衝撃を軽減します。NW160までの大口径や、操作用電磁弁付き、生成物付着防止のヒーター付きも受注生産品としてご用意しています。

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