半導体から一般工業まで、多種多様な流体制御で大活躍!

空気圧機器の総合メーカーのCKDですが、様々な流体を制御する機器も開発・販売しています。工業水や蒸気などを制御する流体制御バルブのほかに、ファインシステム機器と呼ばれる薬液やプロセスガスなどの特殊な流体用の制御バルブも開発・販売しています。

ファインシステム機器の中には、薬液用のウェットファインシステム機器とプロセスガス用・高真空圧用のドライファインシステム機器の2種類があります。ウェットは液体、ドライはガスと覚えてください。ドライファインシステム機器には、真空チャンバー内の真空圧力を制御する製品もあります。様々なシリーズ、オプションを取り揃えておりますのでお気軽にご相談ください。

ファインシステム

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