特定用途＜洁净元件用 P5※ / P7※系列＞

适用于各种领域、级别的洁净室洁净度

是CKD独创的洁净理念的生产体制所形成的系列。
可根据客户要求的洁净度等级、安装位置、环境、工序内容、用途选择机种。

为防止压缩空气排放在要安装的洁净环境中，备有抽真空型、排气处理型两种，配置双活塞杆密封件，从中间部的溢流口通过配管将尘埃向洁净室外的大气排出。此外，还备有不使用铜类、硅类、卤素类（氟、氯、草酸）材料的系列。

各工序组装的产品，经检查工序后，使用高洁净度空气进行吹气，排除尘埃。
另外，在Class100级洁净工作台上进行包装·发货，并采取措施确保异物不被带入洁净室。